梯度壓差： 必須保證氣流從清潔區(qū)→半污染區(qū)→污染區(qū)方向流動。通常是清潔區(qū)為正壓，污染區(qū)為負壓。相鄰房間的壓差應維持在 10-15 Pa 左右。

穩(wěn)定性： 采用自動化的壓差控制系統(tǒng)，實時監(jiān)測并調(diào)節(jié)送排風量，以應對開關門、設備啟停等帶來的擾動。